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按用途壓力敏和力敏傳感器、PHD位置傳感器、PHD液位傳感器、PHD能耗傳感器、PHD速度傳感器、加速度傳感器、PHD射線輻射傳感器、PHD熱敏傳感器。
按原理振動(dòng)傳感器、PHD濕敏傳感器、PHD磁敏傳感器、PHD氣敏傳感器、PHD真空度傳感器、PHD生物傳感器等。按輸出信號(hào)模擬傳感器:將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。數(shù)字傳感器:將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。膺數(shù)字傳感器:將被測量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。PHD開關(guān)傳感器:當(dāng)一個(gè)被測量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。
按其制造工藝集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。
通常還將用于初步處理被測信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
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陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及PHD傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
按測量目物理型PHD傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的?;瘜W(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。
生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,用以檢測與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器。
按其構(gòu)成基本型傳感器:是一種zui基本的單個(gè)變換裝置。組合型傳感器:是由不同單個(gè)變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。應(yīng)用型PHD傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機(jī)構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器。
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按作用形式按作用形式可分為主動(dòng)型和被動(dòng)型傳感器。
主動(dòng)型PHD傳感器又有作用型和反作用型,此種傳感器對(duì)被測對(duì)象能發(fā)出一定探測信號(hào),能檢測探測信號(hào)在被測對(duì)象中所產(chǎn)生的變化,或者由探測信號(hào)在被測對(duì)象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號(hào)。檢測探測信號(hào)變化方式的稱為作用型,檢測產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號(hào)方式的稱為反作用型。雷達(dá)與無線電頻率范圍探測器是作用型實(shí)例,而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例。
被動(dòng)型傳感器只是接收被測對(duì)象本身產(chǎn)生的信號(hào),如紅外輻射溫度計(jì)、紅外攝像裝置等。